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1200℃管式爐技術(shù)參數(shù):
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
*大功率 |
4KW |
加熱溫區(qū) |
單溫區(qū) 440mm |
工作溫度 |
≤1200℃ |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線,可存儲(chǔ)多條 |
爐管材質(zhì) |
高純石英 |
爐管尺寸 |
φ80mm I.D x 1000mm L |
密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
真空測(cè)量 |
機(jī)械式壓力表 |
工作氣體 |
氫氣、氮?dú)狻鍤狻⒀鯕獾确歉g性氣體 |
三路質(zhì)量流量計(jì)參數(shù):
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
氣路數(shù)量 |
三路 |
承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
量程 |
0~100 SCCM (H2) 0~200 SCCM(Ar) 0~500 SCCM(CH4) |
流量控制范圍 |
±1.5% |
混氣罐容積 |
750mL |
氣路材料 |
304不銹鋼 |
管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
供電電源 |
AC220V 50Hz |