產品名稱

 15KW 2000℃溫度可控型感應加熱爐

產品型號

 CY-IV216-15KW-Q

主要特點

    1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

    2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。

    3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。

    4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5

          torr。

    5、迷你型浮子流量計精度為4%。

    6、配有雙級旋片機械泵（2L/s），可使石英管內真空度達到10E-2torr。

感應加熱器

工作電壓

三相AC 380 V  50Hz（需60 A空氣開關）

工作電流

5Amps-52Amps（需100A空氣開關）

功率

*大輸入功率15KW

輸出頻率

30KHz-80 KHz

占空比

80%

感應線圈

內徑Φ220 mm，高65 mm

空氣冷卻

后風扇

溫度控制器及熱電偶

工作電壓

AC208V-240V  單相

控溫精度

±3℃

熱電偶

C型，外徑Φ1/4″，長10″

連續工作溫度范圍

1000℃-2000℃

*大升溫速率

4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

石墨坩堝（易耗件）

高純石墨坩堝

外徑Φ114mm，內徑Φ100mm，高142mm 

*大容量

樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2，*大質量為4kg（以鐵標定）

保溫層

石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從內至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）- 高溫氈，總厚度為32mm

石英管和密封法蘭

石英管

 兩端開口，外徑Φ216mm，內徑Φ208mm，長500mm

頂部法蘭

采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥，設有1個1/4″的鎧裝接口（可插入熱電）偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度

底部法蘭

設有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接

水冷機

溫度

5℃-30℃

水流速

>16L/min

水箱容積

12L，采用不銹鋼制作

水壓

≥0.1MPa

流量

≥5L/min

   （建議使用特定的冷卻劑液以達到*佳的冷卻效果）

真空泵

工作電壓：AC208V-240V單相

移動爐架

尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結構，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管

注意事項

  操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行，

  流量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超

  過**值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造**身傷害。

其他事項

  本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。